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硅片碎片率与切片厚度和氧含量的关系

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硅片碎片率与切片厚度和氧含量的关系

请教各位大侠,硅片切薄了易碎,同时氧含量对硅片机械强度也有影响,那么碎片率与硅片切片厚度和氧含量有啥关系呢硅片碎片率与切片厚度和氧含量的关系
这个应该很难研究吧

点评

是的,找不到具体的数据  详情 回复 发表于 2017-6-8 17:05
不好衡量啊

点评

领导让查查这个问题  详情 回复 发表于 2017-6-8 17:06
王军礼 发表于 2017-6-8 12:46
这个应该很难研究吧

是的,找不到具体的数据

领导让查查这个问题

点评

那就让他指导一下  发表于 2017-6-8 21:37
说的非常好
好帖就是要顶
LZ真是人才
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